RTP管式退火爐、真空合金爐用于先進(jìn)材料需要在高真空、快速升降溫、等條件下進(jìn)行工藝的非標(biāo)定制設(shè)備，可根據(jù)客戶不同需求定制。

主要技術(shù)參數(shù)                            

◆工藝管數(shù)量：1管

◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸）

◆結(jié)構(gòu)型式：臥式熱壁型

◆工作溫度范圍：200～1100℃

◆恒溫區(qū)長度及精度：±1℃/600mm

◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s

◆真空度：   3×10-4Pa

◆升溫速度：  60度/min

◆降溫速度：  60度/min

◆控制方式： 工業(yè)微機(jī)控制

◆記錄工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制