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氣相法二氧化硅

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氣相二氧化硅,化學(xué)氣相沉積(CVD)法,又稱熱解法、干法或燃燒法。其原料一般為silvhuagui、氧氣(或空氣)和氫氣,高溫下反應(yīng)而成。反應(yīng)式為:SiCl4+ 2H2+ O2—>SiO2+4HCl??諝夂蜌錃夥謩e經(jīng)過加壓、分離、冷卻脫水、硅膠干燥、除塵過濾后送入合成水解爐。將silvhuagui原料送至精餾塔精餾后,在蒸發(fā)器中加熱蒸發(fā),并以干燥、過濾后的空氣為載體,送至合成水解爐。silvhuagui在高溫下氣化(火焰溫度1000~1800)后,與量的氫和氧(或空氣)在1800左右的高溫下進(jìn)行氣相水解;此時生成的氣相二氧化硅顆粒極細(xì),與氣體形成氣溶膠,不易捕集,故使其先在聚集器中聚集成較大顆粒,然后經(jīng)旋風(fēng)分離器收集,再送入脫酸爐,用含氮空氣吹洗氣相二氧化硅至PH值為46即為成品。主要用于鋁材表面圖層的防火防腐效果。

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