PLASMA等離子清洗機(jī)的幾種頻率區(qū)別與運(yùn)用

等離子清洗設(shè)備英文叫（Plasma Cleaner）又稱(chēng)等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，plasma清洗機(jī)，等離子去膠機(jī)，等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場(chǎng)合。通過(guò)其等離子表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。
常用的等離子體激發(fā)頻率有三種
激發(fā)頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體，13.56MHz的等離子體為射頻等離子體，2.45GHz的等離子體為微波等離子體。
 不同等離子體產(chǎn)生的自偏壓不一樣，超聲等離子體的自偏壓為1000V左右，射頻等離子體的自偏壓為250V左右，微波等離子體的自偏壓很低，只有幾十伏，而且三種等離子體的機(jī)制不同。
超聲等離子體發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，射頻等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)，微波等離子體發(fā)生的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)。超聲等離子體清洗對(duì)被清潔表面產(chǎn)生的影響**，因而實(shí)際半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用中大多采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。而超聲等離子則應(yīng)用于表面除膠、毛刺打磨等處理方面效果**，典型的等離子體物理清洗工藝是在反應(yīng)腔體中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗；氬氣本身是惰性氣體，等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應(yīng)，而是通過(guò)離子轟擊使表面清潔。
典型的等離子體化學(xué)清洗工藝是氧氣等離子體清洗。通過(guò)等離子體產(chǎn)生的氧自由基非常活潑，容易與碳?xì)浠衔锇l(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發(fā)物，從而去除表面的污染物。 以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，也叫做濺射腐蝕（SPE）或離子銑（IM），其優(yōu)點(diǎn)在于本身不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，清潔表面不會(huì)留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學(xué)純凈性，還有一種等離子體清洗是表面反應(yīng)機(jī)制中物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)都起重要作用，即反應(yīng)離子腐蝕或反應(yīng)離子束腐蝕，兩種清洗可以互相，離子轟擊使被清洗表面產(chǎn)生損傷削弱其化學(xué)鍵或者形成原子態(tài)，容易吸收反應(yīng)劑，離子碰撞使被清洗物加熱，使之更容易產(chǎn)生反應(yīng)；選用40KHZ超聲等離子再加入適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)氣體，可以有效去除膠質(zhì)殘?jiān)?、金屬毛刺等等?.45GHz的微波等離子常用于科研方面及實(shí)驗(yàn)室

等離子清洗機(jī) / 等離子刻蝕機(jī) / 等離子處理機(jī) / 等離子去膠機(jī) / 等離子表面處理機(jī)
等離子清洗-等離子處理-等離子刻蝕-等離子去膠-等離子活化- 等離子表面處理 
     GDR-PLASMA   煙臺(tái)金鷹科技有限公司成立于1995年，是專(zhuān)業(yè)從事真空及大氣等離子清洗機(jī)、等離子處理機(jī)、等離子刻蝕機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子灰化機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子表面處理設(shè)備，射頻及微波等離子體技術(shù)研發(fā)、推廣、銷(xiāo)售于一體的高新技術(shù)企業(yè)，隸屬于戈德?tīng)柕入x子科技（香港）控股有限公司，總部設(shè)于香港 。 
      公司品牌商標(biāo)為:"戈德?tīng)?Guarder”，引進(jìn)德國(guó)先進(jìn)等離子應(yīng)用技術(shù)，其系列產(chǎn)品覆蓋大部分省市，并出口北美、澳洲、中東、東南亞等地區(qū)。
      煙臺(tái)金鷹，作為等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子刻蝕機(jī)/等離子表面處理機(jī)專(zhuān)業(yè)制造企業(yè)，是認(rèn)證企業(yè)，公司擁有的低壓、常壓等離子清洗及等離子表面處理技術(shù)，并有完備的生產(chǎn)加工設(shè)備，可為客戶提供特殊定制服務(wù)及短交期，已成為國(guó)內(nèi)具規(guī)?；a(chǎn)能力的全系列等離子清洗機(jī)、等離子處理機(jī)及等離子表面處理設(shè)備公司。
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