拋光機(jī)是一種精密研磨設(shè)備，上、下研磨盤作相反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，工件在載體內(nèi)作既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動(dòng)，達(dá)到很好的拋光效果。由底座、拋盤、拋光織物、拋光罩及蓋等基本元件組成。電動(dòng)機(jī)固定在底座上。電動(dòng)機(jī)通過(guò)底座上的開關(guān)接通電源起動(dòng)后，固定拋光盤用的錐套通過(guò)螺釘與電動(dòng)機(jī)軸相連。拋光織物通過(guò)套圈緊固在拋光盤上。便可用手對(duì)試樣施加壓力在轉(zhuǎn)動(dòng)的拋光盤上進(jìn)行拋光。拋光過(guò)程中加入的拋光液可通過(guò)固定在底座上的塑料盤中的排水管流入置于拋光機(jī)旁的方盤內(nèi)。拋光罩及蓋可防止灰土及其他雜物在機(jī)器不使用時(shí)落在拋光織物上而影響使用效果。外圓拋光機(jī)操作的關(guān)鍵是要設(shè)法得到大的拋光速率，以便盡快除去磨光時(shí)產(chǎn)生的損傷層。同時(shí)也要使拋光損傷層不會(huì)影響終觀察到組織，即不會(huì)造成假組織。前者要求使用較粗的磨料，以保證有較大的拋光速率來(lái)去除磨光的損傷層，但拋光損傷層也較深；后者要求使用細(xì)的資料，使拋光損傷層較淺，但拋光速率低。解決這個(gè)矛盾的好的方法就是把拋光分為兩個(gè)階段進(jìn)行。粗拋目的去除磨光損傷層，這一階段應(yīng)具有大的拋光速率，粗拋形成的表層損傷是主要的考慮，不過(guò)也應(yīng)當(dāng)盡可能?。黄浯问蔷珤?，其目的去除粗拋產(chǎn)生的表層損傷，使拋光損傷減到小。

操作圓管拋光機(jī)要以為重點(diǎn)，首先要查看電源情況保持好開關(guān)完整無(wú)損，開關(guān)電源要上墻,嚴(yán)禁亂接亂拉電線。在進(jìn)行清洗打掃設(shè)備時(shí)候，防止水濺到電源上，非操作人員嚴(yán)禁進(jìn)入工作區(qū)域；出現(xiàn)緊系情況的時(shí)候，防止在拋光機(jī)使用過(guò)程中出現(xiàn)事故，應(yīng)該立即關(guān)閉總電源開關(guān)。如需拿下拋光砣觀察晶片時(shí)，要停止拋光盤的轉(zhuǎn)動(dòng)，然后抬起壓力控制臂，等壓力控制臂抬起時(shí)，才能取出拋光砣；拋光機(jī)作業(yè)時(shí)禁示將身體任何部位伸入拋光區(qū)內(nèi)，以免出現(xiàn)事故；更換拋光液要關(guān)掉自動(dòng)攪拌機(jī)，以免發(fā)生危險(xiǎn)；作業(yè)完成后要關(guān)掉，水，電，氣等總開關(guān)，現(xiàn)場(chǎng)地面還要適當(dāng)清掃一下，不得亂放物品；消防器材的擺放位置要明確，還要定期檢查是否過(guò)期，完好等情況。